Nghiên cứu vi động cơ kiểu tĩnh điện dựa trên công nghệ vi cơ điện tử

Abstract

Luận án nghiên cứu một cách có hệ thống về các loại vi động cơ có khả năng ứng dụng trong các hệ microrobot, từ đó đề xuất cấu trúc các vi động cơ quay sử dụng các bộ vi kích hoạt/chấp hành kiểu tĩnh điện răng lược; thiết kế và chế tạo các vi động cơ quay kiểu tĩnh điện. Đo đạc, đánh giá đặc tính một số động cơ từ các thiết kế được chọn.