Nghiên cứu các tính chất của màng PZT nhằm chế tạo cảm biến áp điện định hướng ứng dụng trong y sinh

Abstract

Luận án chế tạo màng mỏng PZT chất lượng cao (có độ đồng nhất bề mặt cao) bằng phương pháp quay phủ sol-gel (phương pháp hóa học) với số lượng lớn và độ lặp lại cao, cho phép thực hiện các nghiên cứu về tính chất và chế tạo linh kiện; khảo sát ảnh hưởng của quá trình xử lý nhiệt, chiều dày, điện cực, cấu trúc dị lớp, pha tạp và thành phần của màng lên các tính chất sắt điện và áp điện, nhằm mục đích tối ưu hóa chất lượng của màng mỏng chế tạo; thiết kế, chế tạo và khảo sát các tính chất của các linh kiện cảm biến, tùy thuộc vào các yêu cầu ứng dụng khácnhau, trên cơ sở khảo sát các màng mỏng thu được ở phần (2); định hướng nghiên cứu ứng dụng của các linh kiện cảm biến áp điện trong lĩnh vực y-sinh học.