Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano

Please use this identifier to cite or link to this item: http://thuvienso.quochoi.vn/handle/11742/65917

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	Chu Mạnh Hoàng	-
dc.contributor.advisor	Vũ Thu Hiền	-
dc.contributor.author	Đặng Văn Hiếu
dc.date.issued	2021-04-20
dc.date.submitted	2021-04-27
dc.identifier.other	37312
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/11742/65917	-
dc.description.abstract	Luận án nghiên cứu phát triển các bộ vi chấp hành một chiều (trục z) có dịch chuyển thắng đứng để khắc phục độ lệch biên, có dịch chuyển lớn và chống nhiếu kết cặp mode; Thiết kế bộ chấp hành ba chiều có thể điều khiển độc lập, tích hợp trên cùng một linh kiện, công nghệ chế tạo đơn giản, có thể thực hiện được với công nghệ hiện có ở trong nước, định hướng ứng dụng các bộ vi dịch chuyển có tích hợp mũi dò trong khắc các cấu trúc nano dạng mảng hai chiều.	-
dc.format.extent	133 tr.
dc.language.iso	vi
dc.rights	Trường Đại học Bách khoa Hà Nội
dc.subject	Bộ vi chấp hành	-
dc.subject	mũi dò quét	-
dc.subject	nano cấu trúc	-
dc.subject	mô phỏng hoạt động	-
dc.title	Nghiên cứu thiết kế và mô phỏng hoạt động của bộ vi chấp hành mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano
dc.type	Luận án, luận văn
dc.coverage	Thư viện Quốc hội
dc.source.method	luanvan.moet.edu.vn
Appears in Collections:	Phân quyền - Công nghệ