Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch

Please use this identifier to cite or link to this item: http://thuvienso.quochoi.vn/handle/11742/74681

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Phan Thị Tươi
dc.date.issued	2022-05-10
dc.date.submitted	2022-05-17
dc.identifier.other	39679
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/11742/74681	-
dc.format.extent	1 tr.
dc.language.iso	vi
dc.rights	Trường Đại học sư phạm kỹ thuật Hưng Yên
dc.title	Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch
dc.type	Luận án, luận văn
dc.coverage	Thư viện Quốc hội
Appears in Collections:	Phân quyền - Khoa học

Files in This Item:

F:\MOET\LVLA\zip\39679

F:\MOET\LVLA\zip\39679