Nghiên cứu phương pháp và xây dựng mô hình thiết bị đo cấu trúc hình học ba chiều bề mặt bề mặt tế vi của chi tiết quang cơ theo nguyên lý giao thoa ánh sáng trắng

Abstract

Luận án tập trung nghiên cứu phát triển mô hình thiết bị đo cấu trúc hình học ba chiều của bề mặt tế vi chi tiết quang,cơ trên cơ sở sử dụng WLI.