Nghiên cứu chế tạo và tính toán mô phỏng màng mỏng với nền cacbon giống kim cương có tính chống mòn cao và ma sát thấp

Abstract

Luận án nghiên cứu thiết kế và chế tạo màng mỏng nanocomposite với các tinh thể TiC phân tán trên nền vô định hình carbon giống kim cương (DLC) bằng phương pháp phún xạ magnetron (một dạng PVD) kết hợp CVD. Màng được kỳ vọng có độ cứng cao từ tỷ lệ lớn sp3 (giống kim cương của carbon) của nền kết hợp với cốt là các tinh thể nano TiC có kích thước vài nm. Hệ số ma sát thấp do có sự chuyển hóa từ cấu trúc sp3 (kim cương) sang sp2 (graphite) trong quá trình chịu tải; Xây dựng mô hình và lưu đồ giải thuật tính toán mô phỏng màng chịu tải bởi đầu đâm nano. Độchính của lời giải được phân tích và đánh giá thông qua chuẩn sai số về năng lượng và tốc độ hội tụ.