Chế tạo và nghiên cứu các đặc tính của dây nano Si

Abstract

Luận án tổng hợp được các SiNW trên đế Si bằng hai phương pháp phún xạ catốt RF và bốc bay nhiệt từ nguồn rắn; làm rõ ảnh hưởng của các thông số chế tạo lên hình thái, cấu trúc, tính chất của SiNW; tìm hiểu nguồn gốc, cơ chế phát huỳnh quang của SiNW và sự ảnh hưởng của các thông số chế tạo lên tính chất phát xạ huỳnh quang.