Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch

Please use this identifier to cite or link to this item: http://thuvienso.quochoi.vn/handle/11742/74681

Title:	Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch
Authors:	Phan Thị Tươi
Date Submitted:	2022-05-17
Issue Date:	2022-05-10
Type:	Luận án, luận văn
Extent:	1 tr.
Coverage:	Thư viện Quốc hội
Right:	Trường Đại học sư phạm kỹ thuật Hưng Yên
Appears in Collections:	Phân quyền - Khoa học

Files in This Item:

F:\MOET\LVLA\zip\39679

F:\MOET\LVLA\zip\39679